在习近平新时代中国特色社会主义思想指引下——贯彻新发展理念 推动高质量发展 电子级多晶硅成套制备技术：从0到1的突破

日前，经青海省科学技术奖专家评审组评审、省科学技术奖励委员会审定，省政府批准，“电子级多晶硅成套制备技术研发及产业化”项目，荣获2020年度青海省科学技术进步一等奖。

电子级多晶硅是集成电路产业中最重要的基础材料，它的国产化程度影响着我国集成电路材料的战略安全，该项目由青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司主导实施。为了实现自主创新，从2009年开始，青海黄河水电新能源分公司就与浙江大学硅材料国家重点实验室、浙江金瑞泓科技股份有限公司合作，共同开展电子级多晶硅制备技术的研发及产业化项目的研究，致力于实现电子级多晶硅的国产化，提高电子级多晶硅的自给率。

青海黄河水电新能源分公司质量保证部主任  李海霞：我们的研发属于国内首例，因此在研发过程中，几乎无经验可循，都是摸着石头过河。

从0到1，是一个艰难的过程，研发人员面临着一个又一个难关。

青海黄河水电新能源分公司生产技术部副主任  危胜：我们都知道，电子级多晶硅的核心关键是它的纯度，要满足集成电路制造要求的产品其纯度要达到11个9以上，而整个生产过程影响其纯度的因素非常多，而且各个因素之间相互影响。因此，整个研发过程的难度是可想而知的。

为了攻克这项科技难关，研发团队从“人、机、料、法、环、测”六个要素出发，采用“鱼骨图”分析法，抽丝剥茧分析影响产品纯度的各个因素，有针对性地制定研发方案，反复实验研究。

青海黄河水电新能源分公司生产技术部副主任  危胜：通过成千上万次的实验摸索，成功地解决了如原辅材料和管道设备选择、中间产品分离提纯、CVD化学气相沉淀、石墨部件净化以及产品清洗、包装、检测等技术瓶颈，最终突破了电子级多晶硅成套制备技术。

项目成果包括副产物四氯化硅高效循环利用技术、三氯氢硅气体分离提纯技术、高纯多晶硅制备和质量控制技术等一系列核心自主技术，使得电子级多晶硅产品质量及产出率进一步提高，实现了微电子单晶用多晶硅产品的规模化生产，近三年经济效益超过5000多万元。

青海黄河水电新能源分公司总经理  秦榕：彻底打破了国外对我国电子级多晶硅的垄断，保障了我国集成电路硅材料产业的战略安全，加快了我国3----6英寸、8----12英寸集成电路硅片用高纯硅材料的产业化进程，完全实现了进口替代，填补了电子级多晶硅生产技术和市场的空白。

不仅填补了市场空白，所生产的电子级多晶硅产品多项质量指标均达到国际先进水平。

青海黄河水电新能源分公司总经理  秦榕：下一步将对集成电路硅基材料的检测和生产应用的“卡脖子”问题进行一些技术研究，联合知名科研机构和集成电路材料生产的龙头企业，共同推动集成电路硅材料和装备的国产化进程，着力打造规模型集成电路材料研发基地，形成高纯材料，检测研发为基础，全产业链持续创的新发展模式。