【抢抓机遇促发展·青海在行动】“黄河水电多晶硅”入围央企科技创新成果
最近,国务院国资委发布了《中央企业科技创新成果产品手册》,涉及电子元器件、仪器设备、新材料等7个领域共202项成果,其中青海黄河水电公司新能源分公司生产制造的“黄河水电多晶硅”作为新材料创新成果入选。
多晶硅材料作为集成电路基础材料的最前端,生产技术和市场一直被国外垄断。随着下游产品应用领域的持续拓展,大尺寸硅片需求量快速增长,8英寸、12英寸硅片用材料国内供给率较低,尤其是12英寸产品主要依赖于进口,能够批量生产的企业少之又少。经过多年的努力,青海黄河上游水电开发有限公司新能源分公司持续在技术创新上攻坚发力,目前已形成年产 3300 吨电子级多晶硅和 500 吨硅外延用三氯氢硅的产能。这次多晶硅作为新材料入选央企科技创新成果,展示了黄河水电新能源分公司电子级多晶硅在国内集成电路材料行业的领先地位。
青海黄河水电公司新能源分公司副总经理 张永良:目前,我们电子级多晶硅国内自主生产供应的基础上,攻克集成电路大尺寸硅片电子级多晶硅生产核心关键技术,并批量应用至12寸半导体硅片制造,实现了高端硅片材料批量国产,替代了部分进口产品。
多年来,企业在集成电路用高纯电子级多晶硅的自主化研制方面取得突破性进展,攻克了影响电子级多晶硅材料生产的核心技术,不仅解决了“卡脖子”技术,同时实现了生产工艺的自主可控,材料经过一系列严格的测试和客户验证后,产品各项指标满足集成电路用材料,成为国内10余家硅片制造企业合格供应商,在国内集成电路硅片企业应用超过10年,已成为国内第一家正式面向12英寸硅片客户供应原料的企业。
青海黄河水电公司新能源分公司副总经理 张永良:公司锚定生产主要用于8-12寸硅片方向多晶硅产品,对关键工艺过程进行研发和技术改造,取得了较好的成效。全线产品杂质稳定降低,电子级多晶硅产品产量和利用率显著增加,2023年应用于12英寸方向的产品产量同比提升了273%。